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投影機推薦,FRT晶圓及3D形貌量測設備

互联网 2021-05-16 07:54:51
FRT晶圆及3D形貌量测设备

FRT专精于研发、制造多种点(chromatic)、面(white light、confocal)、薄膜(thin film)及原子力(AFM)等传感器(sensor),具备优异的德国工艺,提供自动化的测量设备,将各类传感器结合于一个感测头,搭配人性化及简易的软件接口,让用户于一个测量程序中,执行不同的量测应用而不需拆装更换硬件。

应用

电子及半导体:PR、PI、thin film thickness、wafer warpage(翘曲)、Bow、TTV、Fan-out量测、compoundthickness、3DIC量测、UBM、TSV量测。 光通讯:lens curve、topography、angle。 生医:针管壁表粗、牙医齿模、刀具形貌之尺寸。 汽车及航空:机械及零配件之表面形貌、

特点:

高速2D profile量测,500 points仅需1秒。 FOV之3D量测仅需10秒。 扫描后无须人员手动设定量测位置,软件自动计算尺寸。 人性化的软件操作界面,包含3D图像处理功能与报告制作之软件功能。 设置或调整recipe可轻易上手。 量测数据自动输出成report,输出之选择性高。 设备稳定性高,量测再现性及再生性优异。 设备保养简易,故障率极低。

 

 

 

 

 

 

 

 

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